T2*S=常數 厚度的平方乘以轉送等于常數. 這是經驗公式,適于用標準制程,即基本主轉速之前沒有高轉速干擾. 如果有,需要修正因子,相對復雜,需要實驗數據說話. 建議,先根據公式做幾個實驗,驗證一下,來調整你的厚度和標準差. 另外,要強調的是,調厚度不僅僅看轉速,要看到pump的時間,噴光阻的時間,噴光租的轉速,切斷轉速等等,很多因素;說起來簡單,其實是個技術活!
光刻膠膜厚與轉速關系？
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T2*S=常數 厚度的平方乘以轉送等于常數. 這是經驗公式,適于用標準制程,即基本主轉速之前沒有高轉速干擾. 如果有,需要修正因子,相對復雜,需要實驗數據說話. 建議,先根據公式做幾個實驗,驗證一下,來調整你的厚度和標準差. 另外,要強調的是,調厚度不僅僅看轉速,要看到pump的時間,噴光阻的時間,噴光租的轉速,切斷轉速等等,很多因素;說起來簡單,其實是個技術活!
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